76秒｜摆脱进口依赖 制“芯”重要材料实现国产

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齐鲁网济南5月10日讯光刻胶用线性酚醛树脂是芯片生产的重要材料之一，之前完全依赖进口。日前济南圣泉集团传来好消息，经过11年艰苦攻关，他们的产品取得重大突破，已经实现了国产化。

济南圣泉集团作为国内唯一能够生产此类产品的企业，目前集团产品的各项指标已经达到了日本客户的要求，获得了向日本某知名光刻胶生产企业供货的机会。

济南圣泉集团股份有限公司技术中心副主任李枝芳介绍说： “我们这种材料叫光刻胶用线性酚醛树脂，正性光刻胶是芯片制作必不可少的一种材料，目前没有替代品” 。

光刻胶用线性酚醛树脂，通俗来说就是用化学原料合成的一种高端树脂，是微细加工技术中的关键性化工材料。在芯片生产过程中，它的作用就是画图和保护底板。

攻坚克难：光刻胶用线性酚醛树脂成功研发

由于之前技术无法突破，长期由美国、日本等国垄断，中国要使用它进行芯片制作，只能依赖于进口。研发之初就碰到了无法攻克的难关。

一颗一微米也就是说当于头发丝直径六十分之一的金属杂质，就可以造成芯片的报废。所以说光刻胶树脂对金杂的管控是非常重要的，这也是工艺控制的难点和要点。

为了攻克这一难题，企业与中科院化学所合作成立了“酚醛树脂技术研究中心”，建成博士工作站，又引进了日本先进的环氧树脂生产技术，建成国内最大的电子级特种环氧树脂车间。用时11年，攻克了分子量分布稳定性和金属杂质的难题，同时形成了芯片级光刻胶用线性酚醛树脂的量产能力。

“所有的材料的研发都不一定是有结果的，我们和上下游企业为之倾注了很多的力气，很多的心血”，济南圣泉集团股份有限公司总裁唐地源认为：“中国的芯片行业需要整个行业的上下游抱团取暖才能够取得更加符合时代发展的新的产品的问世。”

据了解，芯片有几十种大门类上千种小门类，芯片制造一条生产线大约涉及50多个行业、2000-5000道工序，成百上千种材料。而每一种材料的研发都需要下大力气，我们也期待着更多好消息的到来。

闪电新闻记者 孙凯恩 实习记者 宗牧晴 济南报道